適合于局部表面改性;
零件處理時的變形小;
一般不需特別的冷卻裝置即可獲得足夠的冷卻速度;
不論零件的形狀多么復雜，凡是能觀察到的區域就可以進行電子束表面強化;
由于電子束的功率參數、作用時間等規范參數可以精確控制，表面層的溫度、強化的深度、加熱和冷卻速度等都可以嚴格控制;
電子束表面強化在真空中完成，故可以獲得純凈的表面強化層，沒有氧化和氮化過程;
適用于局部易磨損、沖擊、剝蝕、氧化腐蝕及要求特殊性能（局部光敏、熱敏等）的零部件；
可獲得較厚的覆層；
易實現選區熔覆，而且熱變形小，覆層成分及稀釋率可控；
在經濟上和覆層質量上都優于傳統的堆焊工藝。
利用降低的單位面積電能使表面極淺（2um）層部分瞬間熔化，照射時間僅為2us；
表面將被非晶化即非定形化，若將這一過程沿著整個表面反復進行就能獲得非常光滑的表面；
所形成的非定形化表面難以產生氧化，不易生銹；
模具的加工面，有電火花加工得到的梨皮面、銑削加工得到的切削面以及磨削面等，現在又增加了一種用特殊電子束照射在數分鐘內就能得到的鏡面。
電子束物理氣相沉積（PED-PVD或數字涂層）利用脈沖電子蒸發靶材，在基板和部件上創建復雜的材料組份；
通常元素采用的是例如金屬和陶瓷形成復合的材料，作為新材料組合固化在基板和部件上；
它可以通過電子束的脈寬或頻率進行精確控制涂層的沉積速率和深層結構；
沉積涂層時，如同時采用多電子槍轟擊不同靶材，該系統可生成梯度涂層組份的功能。
